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 概 要
W91Xシリーズは、SOP/SSOP/TSOP等の多品種パッケージに対応した2個同時測定の高スループット自重落下方式ICハンドラです。品種切替はワンタッチ・チェンジキットにより、交換作業を容易にしています。
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| 特 長 |
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対応パッケージ ： SOP,SSOP,TSOP etc. |
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インデックス時間 ： 1.3sec/2pcs（テスト時間0.5sec含む） |
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テストモード ： Single/Dual |
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Bin分類数 ： 最大 5分類 |
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 概 要
WS58ダブルサイドウェーハプローバは、ウェーハ表裏両面にブロービングするオートマチックプロービング装置です。従来のプローバでは不可能だったパワーMOS FETなどのダイナミック特性試験をウェーハ上で行うことを可能にしました。近年、自動車メーカや車載モジュール・デバイスメーカまたは家電メーカからパワー半導体のウェーハ/チップ供給の要求が高まりつつあります。
WS58は、これらの要求に対し高精度なウェーハテスト環境をご提供できる唯一のプローバであり、弊社のWL25DP パワーデバイステストシステムと組合せることで、パワーMOS FET・IGBTなどの大電流・高電圧アプリケーションのテストをスピーディーに立ち上げることを可能としました。またプローバI/Fを介して、弊社のテストシステムだけでなく汎用ディスクリートテスタにも容易に接続が可能です。
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| 特 長 |
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超低オン抵抗測定 ： Rdson < 10 mΩ |
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大電流測定 ： Id < 200 A（最大1500 V） |
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スイッチング（AC）測定 ： 低い寄生インダクタンスを確保 |
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対応ウェーハサイズ ： 4/5インチまたは6/8インチ |
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多彩なプロービング方法が可能 |
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 概 要
WS51は、マニュアル操作タイプのダブルサイドウェーハプローバです。ウェーハの装着からステージの駆動、針とチップの位置合わせ、チップへの針圧そしてチップへの打痕確認など、プローバの基本的機能を備えています。
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| 特 長 |
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電気、圧空不要のマニュアル操作機（マイクロスコープ装着時は電気必要） |
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試験対象チップと針の位置合わせが容易（粗調整X,Yステージ同時駆動） |
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微細な合わせが容易（マイクロポジショナーによるX,Yステージの微調整） |
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ブレード破損防止機構装備、ブレード交換が容易 |
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対応ウェーハサイズ ： 4/5インチまたは6/8インチ |
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通電電流 ： 最大 200 A（最大1500 V） |
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