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半導体テストシステム
WL15VW パワー半導体 ウェーハ同時測定テストシステム
ターゲットデバイス IGBT, MOSFET, SBD, FRD, IPM, IPD, Chip
WL15NW+パワーデバイスBOX パワー半導体 ウェーハ同時測定テストシステム
2000V/30A
４個同時測定仕様例
＋2000V/±20mA
±128V/±5A
±60V/±30A
±64V/±160mA
 
最大３２個同時測定可能

WL15VW+超高温・超高耐圧のウェーハプローバ
ターゲットデバイス IGBT, MOSFET, SBD, FRD, IPM, IPD, Chip
概　要
高い真空度において、低温から高温まで業界最高レベル、 ５ｋｖの高耐圧リークが試験できます。
次世代パワー半導体素材のSiC/GaNにも対応
WL15VW+超高温・超高耐圧のウェーハプローバ：シバソク