| 主な仕様 |
| Perpin DC: |
512 pins |
| V/Iソース: |
±50 V/±250 mA ±128 V/±250 mA (±40 V/±2 A) |
| High Power V/Iソース: |
±60 V/±10 A ±30 V/±30 A (フローティング電源) |
| High Voltage V/Iソース: |
+800 V, -500 V/±200 mA +2000 V/+20 mA |
| Function: |
5MHz Test Rate、64 Digital対応 DSP Module 搭載可能 |
| 同時測定: |
16 DUTs/ST |
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| ターゲットデバイス |
| Reg./IPD /Analog&Power(小信号系〜パワーLSI、パワーMOSと幅広い用途) |